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高精度光纖激光尺

簡(jiǎn)要描述:PLR3000系列高精度光纖激光尺配置單軸、雙軸以及三軸輸出,輕松實(shí)現(xiàn)多軸測(cè)量或多自由度測(cè)量。同時(shí)提供多種干涉探頭配置,用戶可根據(jù)實(shí)際需求選擇角錐棱鏡干涉儀、平面鏡干涉儀和差分干涉儀以及無(wú)內(nèi)置干涉鏡組的測(cè)量探頭,滿足用戶各種復(fù)雜場(chǎng)景應(yīng)用。

  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2025-05-29
  • 訪  問(wèn)  量:275

詳細(xì)介紹

品牌中圖儀器產(chǎn)地國(guó)產(chǎn)
加工定制

PLR3000系列高精度光纖激光尺是新一代高精度位置檢測(cè)設(shè)備,基于激光干涉測(cè)量原理,專為超精密加工、微電子制造、光刻技術(shù)、航空航天等高要求領(lǐng)域設(shè)計(jì)。

高精度光纖激光尺


相比傳統(tǒng)鋼帶尺或玻璃光柵,PLR3000系列高精度光纖激光尺具有更加精確的柵距和更高的分辨率,同時(shí)其熱源隔離設(shè)計(jì),保證了更高的穩(wěn)定性,具有安裝快捷,易于準(zhǔn)直等特點(diǎn)。可根據(jù)用戶需求,配置單軸、雙軸以及三軸輸出,輕松實(shí)現(xiàn)多軸測(cè)量或多自由度測(cè)量。同時(shí)提供多種干涉探頭配置,用戶可根據(jù)實(shí)際需求選擇角錐棱鏡干涉儀、平面鏡干涉儀和差分干涉儀以及無(wú)內(nèi)置干涉鏡組的測(cè)量探頭,滿足用戶各種復(fù)雜場(chǎng)景應(yīng)用。


功能特點(diǎn)

(1)高分辨率數(shù)字正交信號(hào)輸出,分辨率達(dá)10nm(可外部拓展)。 

(2)高測(cè)量精度,線性測(cè)量精度達(dá)0.2~0.5ppm。

(3)高穩(wěn)頻精度,可達(dá)0.02~0.05ppm。

(4)測(cè)量范圍大,最大量程可達(dá)4m(可拓展)。

(5)激光發(fā)射裝置與干涉探頭分離,通過(guò)3m鎧裝光纖與電纜連接,可將激光尺主機(jī)遠(yuǎn)離被測(cè)量設(shè)備,便于安裝,同時(shí)還可避免主機(jī)散熱對(duì)測(cè)量通路的影響。

(6)輸出正交數(shù)字信號(hào)或1Vpp正余弦信號(hào),可以適用于不同的控制器。

(7)體積小巧,適合狹小空間安裝,可最大限度降低阿貝誤差。 

(8)即可作為激光干涉儀進(jìn)行測(cè)量,也可用于閉環(huán)位置反饋控制。

(9)多通道輸出,可輕松實(shí)現(xiàn)多軸同時(shí)測(cè)量及多自由度測(cè)量。

(10)環(huán)境補(bǔ)償功能,一體化的環(huán)境氣象站自動(dòng)監(jiān)視及更新環(huán)境氣象參數(shù),實(shí)時(shí)補(bǔ)償溫度、空氣壓力和濕度對(duì)激光在空氣中空氣折射率的影響,保證測(cè)量的準(zhǔn)確性。

高精度光纖激光尺

典型應(yīng)用場(chǎng)景

半導(dǎo)體制造:光刻機(jī)晶圓定位、精密工件臺(tái)反饋控制。

航空航天:發(fā)動(dòng)機(jī)葉片形變檢測(cè)、高精度裝配校準(zhǔn)。

精密加工:數(shù)控機(jī)床多軸聯(lián)動(dòng)位置反饋、微機(jī)械元件測(cè)量。

科研領(lǐng)域:光學(xué)平臺(tái)穩(wěn)定性監(jiān)測(cè)、超精密實(shí)驗(yàn)設(shè)備控制。


服務(wù)與支持

定制化方案:根據(jù)需求提供探頭配置、量程拓展、環(huán)境補(bǔ)償單元等靈活選配。

專業(yè)認(rèn)證:提供中國(guó)計(jì)量院或深圳市計(jì)量院出具的激光校準(zhǔn)證書(shū),確保數(shù)據(jù)性。

全球服務(wù)網(wǎng)絡(luò):1年質(zhì)保,技術(shù)支持團(tuán)隊(duì)7×24小時(shí)響應(yīng),快速解決現(xiàn)場(chǎng)問(wèn)題。

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