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三維共焦顯微鏡

簡要描述:VT6000三維共焦顯微鏡以轉盤共聚焦光學系統為基礎,結合高穩定性結構設計和3D重建算法,共同組成測量系統??蓮V泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、科研院所等領域中。

  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2025-06-03
  • 訪  問  量:723

詳細介紹

品牌中圖儀器產地國產
加工定制

中圖儀器VT6000三維共焦顯微鏡以轉盤共聚焦光學系統為基礎,結合高穩定性結構設計和3D重建算法,共同組成測量系統??蓮V泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、科研院所等領域中??蓽y各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

三維共焦顯微鏡

產品功能

1)3D測量功能:設備具備表征微觀3D形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能;

2)影像測量功能:設備具備二維平面輪廓尺寸的影像測量功能,可進行長度、角度、半徑等尺寸測量;

3)自動拼接功能:設備具備自動拼接功能,能夠實現大區域的拼接縫合測量;

4)數據處理功能:設備具備調整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數據處理功能;

5)分析工具功能:設備具備粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;

6)批量分析功能:設備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,可實現批量數據文件的快速分析功能;

7)便捷操作功能:設備配備操縱桿,支持操縱桿進行所有位置軸的操作及速度調節、光源亮度調節、急停等;

8)光源安全功能:光源設置無人值守下的自動熄燈功能,當檢測到鼠標軌跡長時間未變動后會自主降低熄滅光源,防止光源高亮過熱損壞,并有效延長光源使用壽命;

9)鏡頭安全功能:設備配備壓力傳感器,并在鏡頭處進行了彈簧結構設計,確保當鏡頭碰撞后彈性回縮,進入急停狀態,大幅減小碰撞沖擊力,有效保護鏡頭和掃描軸,消除人為操作的安全風險。


不同應用場景下的3D形貌

VT6000三維共焦顯微鏡主要應用于半導體、光學膜材、顯示行業、超精密加工等諸多領域中的微觀形貌和輪廓尺寸檢測中,其次是對表面粗糙度、面積、體積等參數的檢測中。

3D形貌圖片:

影像測量功能界面

三維共焦顯微鏡


部分技術指標

型號VT6100


行程范圍

X100mm
Y100mm
Z100mm
外形尺寸
520*380*600mm
儀器重量50kg
測量原理共聚焦光學系統
顯微物鏡10×;20×;50×;100×
視場范圍120×120 μm~1.2×1.2 mm


高度測量

重復性(1σ)12nm
顯示分辨率0.5nm


寬度測量

性(1σ)40nm
顯示分辨率1nm
XY位移平臺負載10kg
控制方式電動
Z0軸掃描范圍10mm
物鏡塔臺5孔電動
光源白光LED


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