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3D共焦顯微鏡

簡要描述:中圖儀器VT6000系列3D共焦顯微鏡設備具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能,以及自動拼接功能,能夠快速實現大區域的拼接縫合測量。可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、科研院所等領域中。

  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2025-06-03
  • 訪  問  量:1145

詳細介紹

品牌中圖儀器產地國產
加工定制

在材料生產檢測領域中,共聚焦顯微鏡在陶瓷、金屬、半導體、芯片等材料科學及生產檢測領域中也具有廣泛的應用。它以共聚焦技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析,并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數,從而實現器件表面形貌3D測量。


中圖儀器VT6000系列3D共焦顯微鏡可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、科研院所等領域中。可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

3D共焦顯微鏡


產品功能

1)設備具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能;

2)設備具備自動拼接功能,能夠快速實現大區域的拼接縫合測量;

3)設備具備一體化操作的測量與分析軟件,預先設置好配置參數再進行測量,軟件自動統計測量數據并提供數據報表導出功能,即可快速實現批量測量功能;

4)設備具備調整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數據處理功能;

5)設備具備粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;

6)設備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,可實現批量數據文件的快速分析功能;

3D共焦顯微鏡

自設計之初,VT6000系列3D共焦顯微鏡便定下了“簡單好用"四字方針的目標。

1)結構簡單:儀器整體由一臺輕量化的設備主機和電腦構成,控制單元集成在設備主機之內,亦可采用筆記本電腦驅動,實現了“拎著走"的便攜式設計;

2)真彩圖像:配備了真彩相機并提供還原的3D真彩圖像,對細節的展現纖毫畢現;

3)操作便捷:采用全電動化設計,并可無縫銜接位移軸與掃描軸的切換,圖像視窗和分析視窗同界面的設計風格,實現了所見即所得的快速檢測效果;

4)采用自研的電動鼻輪塔臺,并對軟件防撞設置與硬件傳感器防撞設置功能進行了優化,確保共聚焦顯微鏡在使用高倍物鏡僅不到1mm的工作距離時也能應對。

3D共焦顯微鏡

一體化操作的測量分析軟件

1)測量與分析同界面操作,無須切換,測量數據自動統計,實現了快速批量測量的功能;

2)可視化窗口,便于用戶實時觀察掃描過程;

3)結合自定義分析模板的自動化測量功能,可自動完成多區域的測量與分析過程;

4)幾何分析、粗糙度分析、結構分析、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全;

5)一鍵分析、多文件分析,自由組合分析項保存為分析模板,批量樣品一鍵分析,并提供數據分析與統計圖表功能;

6)可測依據ISO/ASME/EUR/GBT等標準的多達300余種2D、3D參數。


應用領域

對各種產品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

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