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國產激光干涉儀品牌

簡要描述:SJ6000國產激光干涉儀品牌是一個交流測試系統,當激光光束強度受環境影響發生變化時,其頻率不會受光強變化影響發生變化,也不會因電平變化造成干涉信號的頻率改變。因此,它的抗擾力強,精度高,測量結果可靠,在高精度要求的芯片光刻機、計量檢測和前沿科研領域得到廣泛應用。

  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2025-03-07
  • 訪  問  量:1236

詳細介紹

品牌中圖儀器產地國產
加工定制

SJ6000國產激光干涉儀品牌是一個交流測試系統,當激光光束強度受環境影響發生變化時,其頻率不會受光強變化影響發生變化,也不會因電平變化造成干涉信號的頻率改變。因此,它的抗擾力強,精度高,測量結果可靠,在高精度要求的芯片光刻機、計量檢測和前沿科研領域得到廣泛應用。


典型應用

1.數控機床的線性測量;

2.線性模組的定位精度測量;

3.實驗室作為長度基準;

4.數控機床傾斜軸的線性測量;

5.小角度測量;

6.直驅電機的角度測量;

7.直線導軌的平行度測量;

8.設備直線度測量;

9.大理石平臺的平面度測量;

10.三坐標的垂直度測量;

11.設備導軌垂直度測量;

12.雙軸測量。


SJ6000激光干涉儀,激光干涉儀.jpg


SJ6000激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優點,結合不同的光學鏡組,可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在動態測量軟件配合下,可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測,以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態分析,如振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。


SJ6000激光干涉儀,激光干涉儀.jpg


測量精度高、速度快,穩定性好

①使用高性能氦氖激光器,結合伺服穩頻控制系統,達到高精度穩頻(0.05ppm);

②以光波長(633nm)為測量單位,分辨率可達nm級;

③使用高速光電信號采樣和處理技術,測量速度可達到4m/s;

④配合有環境補償單元,在環境變化的情況下,也可以得到較高的測量精度;

⑤分離式干涉鏡設計,避免了測量鏡組由于主機發熱而引起的鏡組形變。

應用范圍廣

SJ6000國產激光干涉儀品牌可以實現線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測;

②結合我們的軟件系統,可以用于速度,加速度,振動分析以及穩定度等分析;

③可實時監控精密加工機床等機器的動態數據,進行動態特性分析。


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