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光學3D輪廓測量儀的工作原理

更新時間:2022-09-01      點擊次數:2140
光學輪廓儀是用于3D形貌定量測試,和精密機械表面粗糙度檢測的理想非接觸式檢測工具。光學3D輪廓測量儀是精密光學測量設備,振動會對其測量精度造成擾動,所以幾乎都會配有隔振平臺。
3d光學輪廓測量儀可自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數,能達到微型范圍內重點部位的納米級粗糙度、輪廓等參數的測量。廣泛應用于如納米材料、航空航天、半導體等各類精密工件表面質量要求高的領域中。
光學3D輪廓測量儀工作原理:
光學3D輪廓儀是利用光學顯微技術、白光干涉掃描技術、計算機軟件控制技術和PZT垂直掃描技術對工件進行非接觸測量,還原出工件3D表面形貌宏微觀信息,并通過軟件提供的多種工具對表面形貌進行各種功能參數數據處理,實現對各種工件表面形貌的微納米測量和分析的光學計量儀器。

光學3D輪廓測量儀只需操作者裝好被測工件,在檢定軟件上設定物鏡倍率和測量模式后點擊“開始"按鈕,光學物鏡會對工件表面進行自動對焦和非接觸掃描,并按設定的位置進行測量,軟件界面會實時掃描物體宏微觀表面形貌;掃描結束后,操作者可通過分析工具對生成的3D形貌進行分析,得到如輪廓、厚度、粗糙度、體積等多種表面形貌測量分析數據。主要用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量,可以達到納米級的檢測精度,并快速獲得被測工件表面三維形貌和數據。

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光學3D輪廓測量儀


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